クニマイト皮膜

クニマイト皮膜とは

400℃でzeroクラック・zeroパーティクルを実現

クニマイトの特長は、高温環境下でもアルマイト皮膜にクラックが発生しないことです。400℃に加熱しても皮膜にクラックは発生しません。

その結果、クラックによるパーティクルの発生もないため高温になる部品にも使用することが可能です。

●優れた耐熱性
通常のアルマイト皮膜／100℃以上の環境ではひび割れが起こる
クニマイト皮膜／400℃の高温環境でもクラックが発生しないため、パーティクルも発生しないので、耐食性も維持される

●耐アルカリ試験
通常の沸騰水封孔処理をしたアルマイト皮膜／3分程度の耐食性
特殊封孔をしたクニマイト皮膜／7分程度の耐食性

加熱温度	25℃	150℃	300℃	400℃	500℃
シュウ酸アルマイト加工	0.0	50.4	231.3 ※1	247.4 ※1	710.2

クニマイト皮膜	0.0	0.0	0.0	0.0	0.0

※1：チャンバー内温度が300～350℃では、1平方センチで約5,983本のクラックが発生する

加熱温度	300℃	400℃	500℃
シュウ酸アルマイト加工サイズ：2×2mm 膜厚：50μm

クニマイト皮膜サイズ：2×2mm 膜厚：50μm

本来、アルマイト皮膜は電気絶縁体です。しかし、アルマイト皮膜を加熱すると表面にクラックが入るので、そこから電気が流れます。

その点、クニマイト皮膜は高熱に加熱してもクラックが入らないので、電気絶縁性が保持されます。従来は、エッチングチャンバーが高熱化することにより、電気絶縁性が低下して不安定なプラズマ状態となり、エッチングに支障をきたしていました。

クニマイト皮膜は、400℃という高温下でもクラック・パーティクルが発生せず、安定したプラズマ状態を作り出します。

区分	超耐熱性アルマイト	耐食性＋耐熱性アルマイト	超耐食性アルマイト		従来のアルマイト
皮膜名称	クニマイト	ムラマイト	ヤギマイト	カワマイト	シュウ酸アルマイト
材料	A6061	開発中	A5052	A5052	A6061
膜厚（μm）	25	-	25	20	25
10％アルカリ耐食試験（秒）（JIS H8681-1）	420	-	672	11369	645
5％塩酸耐食試験（時）（発泡までの時間）	0	-	60	公的機関にて測定中	48
耐熱性（℃）（クラック未発生温度）	400	-	130	120	130
耐電圧（kV）（JIS H8687）	1.48（25℃） 1.69（400℃） ※50μm	-	2.35（25℃） 0.31（250℃）	4.79（25℃）（50μｍ）	2.39（25℃） 0.35（250℃）
耐摩耗性（シュウ酸を分母として）（JIS H 8682-1）往復運動平面摩耗試験	測定予定	-	1.58	未測定	1.00
ガス放出速度　50時間後（測定山口大学栗巣先生）（2023年度表面真空学会）（Pam3 s-1 m2）	5.491x10^-6	-	3.064x10^-5	未測定	4.945x10^-5
プラズマエッチング量（μm）（測定山口大学栗巣先生） CF4 60％,O2 40%、プロセス圧力 5Pa 投入電力100W エッチング時間　300分エッチング中温度　110℃	13.4	-	12	未測定	19.3